Enhanced SIMS|二次イオン質量分析法
サービス概略
SIMS(二次イオン質量分析法)は、極低濃度のドーパントと不純物を検出します。SIMSでは数Å(オングストローム)から数10um(マイクロメートル)までの幅広い分析範囲での元素の深さプロファイルを取得します。試料表面を一次イオンでスパッタし、スパッタによって放出された二次イオンを四重極型(Quadruple)・磁場型(Sector)等の質量分析計で分離・検出します。SIMSではHを含めた全元素をppm〜pptの感度で深さ方向分析を行うことができます。
EAG LaboratoriesのSIMS分析技術は40年以上の歴史があり業界標準になっています。また、EAG Laboratoriesでは50台以上SIMS分析装置と7000種類以上の標準試料を所有しています。さらに弊社が独自開発したPCOR-SIMS(Point by point Corrected 二次イオン質量分析法)は試料のマトリクスの変化に対して感度係数とスパッタリングレートを深さ方向全てのポイントに対して補正し、精度の高い深さ方向プロファイルを得ることができます。そのため、化合物半導体の微量元素・組成評価、Shallow B、As、P等の極浅イオン注入(ULE)分布評価などに有効です。
SIMS・PCOR-SIMSは次のような分析に適しています。
- Si半導体デバイス及び関連材料(SiO2・SiN等)
- 化合物半導体材料・デバイス III-V系 (AlN・GaAs・InP・GaN等)
- SiC及びII-VI系材料 (HgCdTe・ZnSe等)
- 極表面汚染分析(Surface SIMS)
- 極浅接合形成イオン注入深さ方向分析(ULE)
- 太陽電池材料関連(PV-Si・CIG等)
- FPD材料関連(有機EL等)
- 金属薄膜 (Cu膜・Ti膜・W膜・Al膜等)
- 絶縁膜、コーティング膜、各種薄膜
- 化合物半導体中のドーパント濃度深さ方向分析
- 化合物半導体中のエピタキシャル層の膜厚分析
- Si基板中の極低エネルギーイオン注入分布評価
分析事例
SIMS:酸化膜中における可動イオンのイオン注入分布評価 | SIMS:セミバルクモードを用いたSiC試料中の金属不純物分析 | PCOR-SIMS :化合物半導体AlGaAsの評価(VCSEL LASER深さ方向組成、不純物濃度分析) |